丹東浩元儀器有限公司
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衍射儀薄膜測量裝置

      衍射儀薄膜測量附件由多層膜反射鏡和三維薄膜樣品架組成,實現對大于20nm薄膜樣品測量。可實現對薄膜樣品進行薄膜反射分析XRR(針對多晶、單晶多層薄膜厚度、密度、粗糙度進行精确分析)、薄膜掠入射分析GIXRD(精确分析多層膜中材料的組成、次序、取向等)。
三維薄膜樣品架
      四維薄膜樣品架與測角儀安裝設有定位裝置,激光測距定位衍射面,安裝、拆卸方便,即插即用,無需調整光路。最大可測量樣品尺寸:φ70×10mm(或按用戶要求設計可以測量樣品尺寸)、樣品升降精度(Z)軸:1μm。
      平行光源由多層膜反射鏡(Göbel Mirror)和腔體及腔體調整機構組成,安裝機構與衍射儀前索拉狹縫體實行互換,平行光源在出廠前已經調整好了,操作人員不需要調整。

Göbel Mirror鏡平行光發散度小于0.028°,反射效率大于70%

薄膜樣品XRR衍射譜圖

搖擺測量衍射譜圖

薄膜掠入射分析GIXRD測量
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